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          產品介紹

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          微納器件MEMS/微納加工微納器件代工/離子束刻蝕

          微納器件MEMS/微納加工微納器件代工/離子束刻蝕

          MEMS微納熱盤,即微型薄膜加熱器,是運用介質薄膜支撐和熱隔離,通電發熱,達到預定溫度。因此可以依據客戶要求,可以設計成不同的溫度區間,從而達到客戶的實際產品需求。

           

          寬溫區微納熱盤:

          1. 300℃低溫區熱盤

          2. 500℃中高溫區熱盤

          3. 800℃以上高溫區熱盤

          其特性優勢為加熱功耗較低,熱量損耗小,響應時間快,易同其它微電子器件集成。其廣泛運用于氣體傳感器,微熱量計,氣體流量計,紅外光源等產品。


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          MEMS微納熱盤,即微型薄膜加熱器,是運用介質薄膜支撐和熱隔離,通電發熱,達到預定溫度。因此可以依據客戶要求,可以設計成不同的溫度區間,從而達到客戶的實際產品需求。

           

          寬溫區微納熱盤:

          1. 300℃低溫區熱盤

          2. 500℃中高溫區熱盤

          3. 800℃以上高溫區熱盤

          其特性優勢為加熱功耗較低,熱量損耗小,響應時間快,易同其它微電子器件集成。其廣泛運用于氣體傳感器,微熱量計,氣體流量計,紅外光源等產品。


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