MEMS微納熱盤，即微型薄膜加熱器，是運用介質薄膜支撐和熱隔離，通電發熱，達到預定溫度。因此可以依據客戶要求，可以設計成不同的溫度區間，從而達到客戶的實際產品需求。

寬溫區微納熱盤：

1. 300℃低溫區熱盤

2. 500℃中高溫區熱盤

3. 800℃以上高溫區熱盤

其特性優勢為加熱功耗較低，熱量損耗小，響應時間快，易同其它微電子器件集成。其廣泛運用于氣體傳感器，微熱量計，氣體流量計，紅外光源等產品。