主要采用高精度化學(xué)腐蝕或者激光切割和焊接工藝來(lái)制備不銹鋼掩模板。

按照目前的工藝條件，特點(diǎn)如下，供大家參考。

1.性價(jià)比高的是在0.3mm厚度的304不銹鋼鋼板上通過(guò)化學(xué)腐蝕制作線條寬0.4mm(400um)，鏤空（挖孔）0.4mm(400um)，誤差是30-60um，速度較快，成本相對(duì)較低。

2.高精度化學(xué)腐蝕可以制作線寬0.1mm(100um)的叉指電極掩膜版，實(shí)體部分誤差30um，空隙部分誤差60um，請(qǐng)合理考慮誤差，并根據(jù)誤差情況，設(shè)計(jì)好自己的圖案結(jié)構(gòu)，圖案結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，能事半功倍。價(jià)格相對(duì)較貴。 

3.超高精度的激光加工可以制作線寬0.04mm(40um)的掩膜版，誤差20um，價(jià)格貴。 

掩模板可以應(yīng)用于電子束蒸發(fā)，熱蒸發(fā)，磁控濺射等設(shè)備中，用來(lái)制備OPV、OLED、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池，光電探測(cè)器，場(chǎng)效應(yīng)晶體管等各種器件圖形化薄膜和電極。