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          4英寸單面雙面拋光硅片 高純度單晶硅鍍膜
          
        	
          
						
          
				
          
				
          
					
          
						
          
							
           
          
							
							
						
          
												
          
							
           
          
							
						
          
												
          
							
           
          
							
						
          
											
          
				
          
				
          
			
          
					
          
		
          
                    
          
			
          4英寸單面雙面拋光硅片 高純度單晶硅鍍膜
          
			
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          生長方式：直拉單晶（CZ）熱氧化工藝
          直徑與工差：100±0.4mm
          摻雜類型：N型（摻磷 ， 砷 ， 銻） P型（摻硼）
          晶向：<111><100>
          電阻率： 0.001-50(Ω?cm) 可按客戶要求定制
          工藝數據：平整度TIR:<3μm 、 翹曲度TTV: <10μm 、
                          彎曲度BOW< 10μm 、粗糙度<0.5nm、顆                     粒度< 10 (for size > 0.3μm)

          
			
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          生長方式：直拉單晶（CZ）熱氧化工藝
          直徑與工差：100±0.4mm
          摻雜類型：N型（摻磷 ， 砷 ， 銻） P型（摻硼）
          晶向：<111><100>
          電阻率： 0.001-50(Ω?cm) 可按客戶要求定制
          工藝數據：平整度TIR:<3μm 、 翹曲度TTV: <10μm 、
                          彎曲度BOW< 10μm 、粗糙度<0.5nm、顆                     粒度< 10 (for size > 0.3μm)

          

          

          
   
          
 
    
          
	   
	
		
	
	
          

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